Pillar皮拉CMP工艺用研磨液用泵PC系列
日本Pillar（皮拉）的 PC系列 泵是专为半导体 化学机械抛光（CMP） 工艺设计的核心流体输送设备。这款泵最大的特点在于其全氟树脂（PFA/PTFE）接触段设计，很好的解决了CMP研磨液（Slurry）输送中对洁净度、耐腐蚀性和颗粒控制的严苛要求。

Pillar皮拉CMP工艺用研磨液用泵PC系列

株式会社PILLAR皮拉是一家拥有百年历史的日本精密流体控制企业，在半导体清洗设备用氟树脂接头领域占据全球90%以上的绝对份额。

公司创立于1924年，前身为“日本皮拉工业所"，最初生产船舶发动机用合金填料，其名称即源于当时产品的“柱状（Pillar）"形态。1951年开发出日本第一个机械密封，1952年启动氟树脂产品“PILAFLON"的生产。1984年响应半导体产业需求，推出第一款氟树脂接头，由此奠定在该领域的优势地位。

如今PILLAR为东京证券交易所Prime市场上市公司，员工约1300人。业务分为两大板块：电子设备相关（占比约七成）提供半导体制造装置用高纯氟树脂管件、阀门与泵；工业设备相关（约三成）则生产机械密封、填料与垫片，服务于石化、发电等流程工业。2024年公司迎来创业百年，正式由“日本皮拉工业"更名为“株式会社PILLAR"。

PC 系列是皮拉专为半导体CMP 化学机械抛光工艺开发的浆料专用氟树脂波纹管泵（Spela300 系列下 CMP 专属款），用于二氧化硅、氧化铝、铈基、金属沉降型研磨液输送与循环，常配套 SUPER300 P 系列 PFA 接头、PILAFLON PFA 管路组成完整 CMP 供浆系统。

核心特点：

PC 系列的针对性设计主要围绕“防沉降"和“防污染"展开：

专为易沉降浆料设计：采用独特的流路设计，使液体流动顺畅、不易滞留，显著减少泵内积液。这使其不仅能处理硅基浆料，尤其能应对沉降速度快的金属系浆料。

全氟树脂接液：所有接液部件均采用 PFA 和 PTFE 制成，具备高耐化学性、耐热性和洁净度，从源头杜绝金属离子污染。

气动波纹管驱动：属于波纹管泵类型，通过气动驱动，避免了旋转密封件可能产生的颗粒和磨损问题。

应用场景：

PC系列泵主要部署在CMP工艺段的以下位置：

研磨液供给系统： 从供液柜（Sub-Fab）向抛光机台（Tool）稳定输送研磨液，确保流量脉动极小，保证抛光均匀性。

循环回路： 在机台内部或供液系统中进行研磨液循环，防止颗粒沉降。

清洗/冲洗环节： 输送去离子水（DIW）或清洗化学品，用于抛光后的晶圆冲洗及管路清洗。

Pillar皮拉CMP工艺用研磨液用泵PC系列：