日本进口Pillar皮拉高精度定量泵PD-1000R
PD-1000R 是 PILLAR（皮拉）PD 系列中一款专为光刻胶等粘稠药液设计的超高精度定量泵。它属于气动波纹管泵，核心定位是解决半导体光刻、涂胶显影工艺中微量药液的精准投加问题。

日本进口Pillar皮拉高精度定量泵PD-1000R

PILLAR皮拉，株式会社 PILLAR，1924 年创立于日本大阪，是东京证券交易所 Prime 上市的百年流体控制与密封技术专业厂商，深耕密封材料、高纯流体管路元器件研发制造，2024 年迎来品牌百年。

企业以洁净、安全、前沿为核心理念，依托氟树脂材料与防泄漏核心技术，产品覆盖半导体、新能源电池、医药化工、汽车船舶等行业。1984 年正式切入半导体领域，自研 SUPER300 系列 PFA 高纯接头，其中 P 系列柱式安装接头凭借入珠式锁紧密封结构，在晶圆清洗设备管路市场全球占有率超 90%，成为行业先锋产品。

公司具备完整研发、洁净生产与检测体系，产品接液材质选用高纯 PFA/PTFE，低离子析出、耐强腐蚀，适配半导体湿制程高纯药液输送。在全球多国设立子公司与生产基地，中国滁州建有生产基地，为国内半导体设备厂商提供稳定的流体管路配套方案，与晶圆机械手、Loadport 等设备配套，服务芯片制造全流程。

PD-1000R 是皮拉 PD 系列半导体专用高精度氟树脂波纹管定量泵，属于 SPELA300 产品线，主打微量、超高精度药液定量供给，可与 SUPER300 P 系列 PFA 接头、PILAFLON PFA 管路配套搭建高纯供液系统。

核心特点：

超高定量精度：单次吐出重复精度可达±0.005mL，适合微量药液精准投加，压力补偿结构，背压波动依然保持稳定计量。

无轴封波纹管结构：气动驱动，无旋转轴封，杜绝漏液风险；内部流道平滑没有死角，不易残留、粘附粘稠药液。

适配高粘度流体：最高可输送 1000cP 粘度药液，可用于光刻胶这类粘稠化学品定量添加。

一体化洁净设计：泵进出口可直接对接皮拉 PFA 管路接头，整机洁净车间组装包装，开箱即可接入半导体设备。

典型应用：

半导体光刻、显影、清洗设备，用于光刻胶、显影液、高纯化学品定量补加；FPD 面板制程微量药液供给，多用于晶圆涂胶显影模块的药液定量投料。

日本进口Pillar皮拉高精度定量泵PD-1000R：