Pillar皮拉紧凑型氟树脂材料风囊泵PE系列
PILLAR（皮拉）的 PE 系列风囊泵，是专为半导体及 FPD 制造中的强腐蚀性化学品供给与循环设计的气动波纹管泵。你提到的“紧凑型"对应的是其中的 PE-E 子系列，核心定位是在保持全氟树脂洁净度的同时，大幅缩减设备占地面积。

Pillar皮拉紧凑型氟树脂材料风囊泵PE系列

PILLAR皮拉，株式会社 PILLAR，1924 年创立于日本大阪，是东京证券交易所 Prime 上市的百年流体控制与密封技术专业厂商，深耕密封材料、高纯流体管路元器件研发制造，2024 年迎来品牌百年。

企业以洁净、安全、前沿为核心理念，依托氟树脂材料与防泄漏核心技术，产品覆盖半导体、新能源电池、医药化工、汽车船舶等行业。1984 年正式切入半导体领域，自研 SUPER300 系列 PFA 高纯接头，其中 P 系列柱式安装接头凭借入珠式锁紧密封结构，在晶圆清洗设备管路市场全球占有率超 90%，成为行业先锋产品。

公司具备完整研发、洁净生产与检测体系，产品接液材质选用高纯 PFA/PTFE，低离子析出、耐强腐蚀，适配半导体湿制程高纯药液输送。在全球多国设立子公司与生产基地，中国滁州建有生产基地，为国内半导体设备厂商提供稳定的流体管路配套方案，与晶圆机械手、Loadport 等设备配套，服务芯片制造全流程。

PE 系列是皮拉紧凑型气动氟树脂风囊泵（波纹管泵），属于 SPELA300 产品线，专为半导体、FPD 面板高洁净药液输送开发，可直接配套 SUPER300 P 系列 PFA 接头、PILAFLON PFA 管路搭建高纯供液系统。

核心特点：

PE 系列的优势在于绝对的无轴封结构与全氟树脂接液：

零泄漏与自吸能力：采用风囊（波纹管）驱动，没有旋转轴和机械密封，从结构上杜绝了漏液风险。同时具备强自吸能力，可干转，不易汽蚀。

全氟树脂高洁净：所有接液部件均采用 PFA 和 PTFE 材质，具备高耐化学性、耐热性和洁净度，从源头杜绝金属离子污染。

紧凑型设计（PE-E）：PE-E 系列通过优化结构实现了更小的占地面积，直接帮助设备小型化，适合空间受限的机台内部。

低脉动运行：相比传统隔膜泵，流量更平稳。若需进一步降低脉动，可单独加装蓄能器（Accumulator）。

应用场景：

半导体湿法清洗： 输送SC-1, SC-2, DHF, 浓硫酸等强腐蚀清洗液，确保晶圆表面零金属污染。

CDS化学品供应系统： 作为供液柜（Cabinet）内的主泵或循环泵，提供低脉动、高稳定性的流体输送。

CMP研磨液输送： 虽然PC系列更专用于Slurry，但PE系列也可用于低粘度研磨液或清洗水的循环，防止颗粒沉降。

高纯气体/液体灌装： 用于电子特气或高纯试剂的定量灌装，利用其无死腔设计减少残留。

Pillar皮拉紧凑型氟树脂材料风囊泵PE系列：