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日本进口Pillar皮拉氟树脂材料风囊泵
产品简介:

日本进口Pillar皮拉氟树脂材料风囊泵PE-E系列
PILLAR(皮拉)PE-E 系列是 SPELA™ 风囊泵家族中的紧凑型分支,专为半导体、FPD 制造中空间受限的机台内部设计,核心取舍是在保留全氟树脂洁净度的前提下,大幅缩减泵体占地面积。

产品型号:PE-E系列

更新时间:2026-09-15

厂商性质:代理商

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产品介绍

日本进口Pillar皮拉氟树脂材料风囊泵PE-E系列

日本进口Pillar皮拉氟树脂材料风囊泵

日本PILLAR株式会社(中文品牌名“铍乐")创立于1924年,总部位于日本大阪,是一家在东京证券交易所上市有名的流体制御机器制造商。公司依托核心的密封与材料技术,专注于水、油、有毒气体及化学品等流体的控制设备设计、开发与制造。

PILLAR的核心业务涵盖电子机器关联与产业机器关联两大领域,主要产品包括半导体及医疗领域用氟树脂接头、管件、泵,以及各类机械密封、垫片等。在半导体设备清洗零部件领域,其研发能力位居日本第一,全球份额高达约90%,业内享有“PILLAR标准"的美誉。此外,其缓冲及密封产品在中国高铁领域份额也约占70%。

目前,PILLAR在全球多地设有分支机构。中国是其重要的战略市场,公司不仅在多地设有贸易公司,还在安徽滁州建设了中国的生产基地,以“本地生产、本地销售"的策略深入布局中国市场。

日本Pillar(皮拉)的 PE-E系列 是在标准PE系列基础上,针对高精度、低脉动、高洁净需求进行深度优化的高性能气动风囊泵。

它继承了Pillar核心的全氟树脂(PFA/PTFE)流道设计,但在脉动控制和结构紧凑度上做了显著升级,特别适合半导体先进制程中对流体稳定性要求高的湿法清洗和化学品供应场景。

核心特点:

特别小型紧凑:整机占地面积更小,专门适配半导体清洗、蚀刻设备内部紧凑机架,助力设备整机小型化设计。

无轴封风囊结构:纯气动驱动,无旋转轴封,从根源消除药液泄漏风险;特制 R 圆角 PTFE 风囊,抗反复弯折疲劳,支持自吸、允许短时干转。

流道没有死角:泵内流道平滑,药液不易滞留结晶,减少微粒产生,适配洁净化学品循环供给。

脉动低:相比普通隔膜泵流体脉动更小,可选配蓄能器进一步稳压,保障药液输送稳定。

管路配套兼容:泵进出口接口原生匹配皮拉 SUPER300 系列 PFA 接头,管路对接便捷。

典型应用:

半导体晶圆清洗、蚀刻、显影设备,FPD 面板制程,高纯化学品供给、药液循环管路;适合设备内部空间受限场景,可与 PC 系列 CMP 研磨泵、PD 高精度定量泵搭配,构成整套流体系统。

日本进口Pillar皮拉氟树脂材料风囊泵PE-E系列:

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