日本进口Pillar皮拉PE系列风囊泵PE-5MA
日本Pillar（皮拉/铍乐）的 PE-5MA 是其 PE系列紧凑型气动风囊泵 中的一款小流量、高精度型号。
这款泵专为半导体先进制程中对洁净度、耐腐蚀性及流量稳定性有超高要求的场景设计，通常用于精密清洗、微量化学品添加或光刻胶输送。

日本进口Pillar皮拉PE系列风囊泵PE-5MA

日本PILLAR株式会社（中文品牌名“铍乐"）创立于1924年，总部位于日本大阪，是一家在东京证券交易所上市有名的流体制御机器制造商。公司依托核心的密封与材料技术，专注于水、油、有毒气体及化学品等流体的控制设备设计、开发与制造。

PILLAR的核心业务涵盖电子机器关联与产业机器关联两大领域，主要产品包括半导体及医疗领域用氟树脂接头、管件、泵，以及各类机械密封、垫片等。在半导体设备清洗零部件领域，其研发能力位居日本第一，全球份额高达约90%，业内享有“PILLAR标准"的美誉。此外，其缓冲及密封产品在中国高铁领域份额也约占70%。

目前，PILLAR在全球多地设有分支机构。中国是其重要的战略市场，公司不仅在多地设有贸易公司，还在安徽滁州建设了中国的生产基地，以“本地生产、本地销售"的策略深入布局中国市场。

PE-5MA 是皮拉 PE 系列中温型紧凑型气动氟树脂风囊（波纹管）泵，属于 SPELA®300 产品线，为半导体设备小流量高纯药液输送设计，可直接配套 SUPER300 P 系列 PFA 接头、PILAFLON PFA 管路组成完整供液回路。

核心优势：

低脉动设计：

PE-5MA 采用优化的气动换向逻辑和风囊结构，相比传统隔膜泵，流量脉动更小。对于精密涂胶或微量添加，通常建议搭配 Pillar 脉冲阻尼器（Damper） 使用，可将脉动降至 <5%，确保液膜厚度均匀。

高洁净组装：
产品通常在 Class 100 级洁净室 内完成组装、清洗和包装，开箱即用，无需现场繁琐清洗，避免二次污染。

长寿命风囊：
采用特殊成型的 PFA/PTFE 波纹管，无机械摩擦，耐疲劳性能优异，在频繁启停或连续运行工况下，使用寿命显著长于普通橡胶/PTFE复合隔膜。

安全防爆：
纯气动结构，无电气元件接触流体，天然适用于 IPA、PGMEA 等易燃易爆溶剂的输送环境。

典型应用场景：

Track 机台（涂胶显影）： 输送光刻胶、显影液、边缘清洗液（EBR），要求极低脉动和零颗粒。

湿法清洗（Wet Bench）： 输送 HF、H₂SO₄、NH₄OH 等药液，用于晶圆表面去氧化层、去金属杂质。

CDS 化学品供应系统： 作为 Cabinet 内的循环泵或供液泵，维持管路内药液流动，防止沉淀和浓度分层。

精密灌装： 电子级试剂的定量分装，利用其自吸和截止特性，实现无滴漏灌装。

日本进口Pillar皮拉PE系列风囊泵PE-5MA：