日本进口Pillar皮拉大流量风囊泵PK系列
日本 Pillar（皮拉/铍乐）的 PK系列 是其风囊泵产品线中的大流量、高扬程主力型号。
与之前介绍的 PE 系列（紧凑型/小流量）不同，PK系列专为半导体厂务端（Sub-Fab）、CDS化学品供应系统及大型湿法清洗设备设计，旨在解决大流量输送时的脉动控制和高洁净度难题。

日本进口Pillar皮拉大流量风囊泵PK系列

日本PILLAR株式会社（中文品牌名“铍乐"）创立于1924年，总部位于日本大阪，是一家在东京证券交易所上市有名的流体制御机器制造商。公司依托核心的密封与材料技术，专注于水、油、有毒气体及化学品等流体的控制设备设计、开发与制造。

PILLAR的核心业务涵盖电子机器关联与产业机器关联两大领域，主要产品包括半导体及医疗领域用氟树脂接头、管件、泵，以及各类机械密封、垫片等。在半导体设备清洗零部件领域，其研发能力位居日本第一，全球份额高达约90%，业内享有“PILLAR标准"的美誉。此外，其缓冲及密封产品在中国高铁领域份额也约占70%。

目前，PILLAR在全球多地设有分支机构。中国是其重要的战略市场，公司不仅在多地设有贸易公司，还在安徽滁州建设了中国的生产基地，以“本地生产、本地销售"的策略深入布局中国市场。

PK 系列是皮拉大流量气动氟树脂风囊（波纹管）泵，属于 SPELA300 产品线，为半导体大流量高纯药液循环、供给场景开发，流量规格高于 PE 系列，可配套 PA-100H 脉压调节器、SUPER300 P 系列 PFA 接头、PILAFLON PFA 管路搭建整套高纯供液系统。

核心特点：

紧凑大流量：在较小占地面积实现最大 121L/min 大流量输送，同流量等级里机身更小巧，节省设备机房 / 大型清洗机安装空间皮拉。

支持高扬程高驱动压力：供气压力最高可达 0.7MPaG，适配需要高吐出压力的大流量药液回路。

水锤抑制结构：特殊结构降低吸入侧管路振动，减轻水锤冲击，保护后端流量计、阀件与管路组件。

无轴封波纹管结构：气动驱动，无旋转轴封，消除漏液风险；特制 R 圆角 PTFE 风囊，抗弯折疲劳，支持自吸、短时干转。

管路原生兼容：泵进出口直接适配皮拉 SUPER300 系列 PFA 接头，可直接对接 PFA 波纹管接头 P-FTF-W 系列。

应用场景：

CDS 化学品供应系统：

作为 主供液泵 或 循环泵，将酸/碱/溶剂从储罐输送至机台或回流至过滤系统。

大流量特性确保管路内流速 > 1.5 m/s，防止颗粒沉降和浓度分层。

大型湿法清洗（Wet Bench）：

快速注液： 缩短单片/批次晶圆的工艺Cycle Time。

溢流循环： 维持清洗槽液位和温度均匀性。

厂务端（Sub-Fab）输送：

从吨桶（Drum）或集装桶（IBC）向日用罐（Day Tank）输送高纯化学品。

CMP 研磨液循环：

虽然 PC系列 更专用于Slurry，但 PK系列 也可用于低粘度研磨液或清洗水的大流量循环，防止沉淀。

日本进口Pillar皮拉大流量风囊泵PK系列：