日本进口Pillar皮拉新型低脉动风囊泵PRS系列
PILLAR（皮拉）PRS 系列是风囊泵家族中专攻低脉动的型号，核心卖点是无需外接蓄能器，仅靠泵自身结构就能把脉动控制在极低水平。

日本进口Pillar皮拉新型低脉动风囊泵PRS系列

PILLAR皮拉，株式会社 PILLAR，1924 年创立于日本大阪，是东京证券交易所 Prime 上市的百年流体控制与密封技术专业厂商，深耕密封材料、高纯流体管路元器件研发制造，2024 年迎来品牌百年。

企业以洁净、安全、前沿为核心理念，依托氟树脂材料与防泄漏核心技术，产品覆盖半导体、新能源电池、医药化工、汽车船舶等行业。1984 年正式切入半导体领域，自研 SUPER300 系列 PFA 高纯接头，其中 P 系列柱式安装接头凭借入珠式锁紧密封结构，在晶圆清洗设备管路市场全球占有率超 90%，成为行业先锋产品。

公司具备完整研发、洁净生产与检测体系，产品接液材质选用高纯 PFA/PTFE，低离子析出、耐强腐蚀，适配半导体湿制程高纯药液输送。在全球多国设立子公司与生产基地，中国滁州建有生产基地，为国内半导体设备厂商提供稳定的流体管路配套方案，与晶圆机械手、Loadport 等设备配套，服务芯片制造全流程。

PRS 系列是皮拉内置低脉动结构的新一代气动风囊（波纹管泵），属于 SPELA300 产品线，最大亮点：泵体自带低脉动机构，无需额外加装 PA 脉压调节器，简化高纯药液管路设计，可配套 SUPER300 P 系列 PFA 接头、PILAFLON PFA 管路使用。

核心特点：

原生低脉动设计：双风囊联动动作机构，泵本体内部实现压力脉动抑制，省去外置蓄能器（PA 脉压调节器），减少管路配件、缩小设备占用空间，降低管路泄漏点。

无轴封波纹管结构：气动驱动，无旋转轴封，从根源杜绝药液泄漏；特制 R 圆角 PTFE 风囊，抗反复弯折疲劳，支持自吸、短时干转。

平滑没有死角流道：流道内壁光滑，药液不易滞留结晶，减少微粒产生，保护晶圆制程良率。

管路兼容：泵进出口原生适配皮拉 SUPER300 系列 PFA 入珠接头，可直接对接 PFA 波纹管补偿接头 P-FTF-W 系列。

核心定位：低脉动 + 高洁净：

革命性的低脉动技术： PRS系列 采用了 Pillar 最新一代的气动控制逻辑与双腔体平衡结构（或内置高频缓冲腔），无需外接庞大的阻尼器，即可将流量脉动率控制在 < 3% 甚至更低。

平稳的流体输出： 将传统风囊泵“锯齿状"的脉动流转化为非常平滑层流，匹配先进制程对药液流量超高精度的要求。

材质与微污染控制：

全氟树脂（PFA/PTFE）流道： 所有过流部件均为高纯氟树脂，确保在输送强腐蚀性化学品时，金属离子析出量达到 ppt（万亿分之一）级别。

没有死角与自排空设计： 优化的内部流道几何形状，配合极低的死体积设计，在切换化学品时只需极少的清洗液（DIW）即可实现快速、安全的置换，大幅降低交叉污染（Cross-Contamination）风险。

百级洁净组装： 在 Class 100 洁净室组装，确保无颗粒残留。

典型应用：

半导体晶圆清洗设备、化学供液循环管路、显影药液输送、FPD 面板湿法制程；适合对药液流量稳定性要求高、设备内部空间有限的工况，对比 PE 系列，可省去蓄能器，简化整套流体回路。

日本进口Pillar皮拉新型低脉动风囊泵PRS系列：