日本进口Pillar皮拉SPELA™300风囊泵PS-E系列
日本 Pillar（皮拉）的 SPELA™ 300 PS-E 系列 是一款专为半导体及高纯流体输送设计的低脉动气动风囊泵。
该系列的核心技术亮点在于将泵送功能与蓄能缓冲功能集成于单一泵体，无需外接庞大的脉冲阻尼器，即可实现极其平稳的流体输出，是先进制程湿法工艺和精密化学品供应的理想选择。

日本进口Pillar皮拉SPELA™300风囊泵PS-E系列

PILLAR皮拉，株式会社 PILLAR，1924 年创立于日本大阪，是东京证券交易所 Prime 上市的百年流体控制与密封技术专业厂商，深耕密封材料、高纯流体管路元器件研发制造，2024 年迎来品牌百年。

企业以洁净、安全、前沿为核心理念，依托氟树脂材料与防泄漏核心技术，产品覆盖半导体、新能源电池、医药化工、汽车船舶等行业。1984 年正式切入半导体领域，自研 SUPER300 系列 PFA 高纯接头，其中 P 系列柱式安装接头凭借入珠式锁紧密封结构，在晶圆清洗设备管路市场全球占有率超 90%，成为行业先锋产品。

公司具备完整研发、洁净生产与检测体系，产品接液材质选用高纯 PFA/PTFE，低离子析出、耐强腐蚀，适配半导体湿制程高纯药液输送。在全球多国设立子公司与生产基地，中国滁州建有生产基地，为国内半导体设备厂商提供稳定的流体管路配套方案，与晶圆机械手、Loadport 等设备配套，服务芯片制造全流程。

PS-E 是 SPELA300 产品线紧凑型内置蓄能低脉动风囊泵，泵体集成脉动缓冲功能，无需额外配置 PA 脉压调节器，相比 PE 系列省去外置蓄能器，缩小设备安装空间，可配套 SUPER300 P 系列 PFA 接头、P-FTF-W 波纹管接头、PILAFLON PFA 管路组成高纯药液回路。

材质：

全部接液部件采用PFA、PTFE 高纯氟树脂，无尘车间组装清洗；无金属接触药液，低离子析出、低微粒，满足 SEMI 半导体洁净标准，耐受强酸、强碱、双氧水、各类蚀刻化学品。

核心特点：

本体自带低脉动机构：集成蓄能缓冲结构，单台泵即可抑制流体脉动，减少管路压力波动，简化管路设计，减少泄漏点位，节省成本。

紧凑小型化：整机外形尺寸与 PE 系列基本相当；对比 PE 泵 + 外置 PA 蓄能器，整体占用体积可减少约 1/3，适合设备机架狭小空间集成。

无轴封气动风囊结构：气动驱动，无旋转轴封，杜绝药液渗漏；风囊采用 R 圆角特殊 PTFE 材质，抗反复弯折疲劳，支持自吸、短时干转。

没有死角平滑流道，不易药液结晶、减少颗粒生成，保护晶圆制程良率。

管路原生兼容 SUPER300 P 系列入珠式 PFA 接头，拆装便捷。

应用场景：

先进制程湿法清洗（Wet Bench）：

输送 SC-1, SC-2, DHF 等药液。低脉动特性确保晶圆表面药液浓度和冲刷力绝对均匀，防止微蚀刻不均或颗粒残留。

涂胶显影机（Track）：

输送光刻胶、显影液、EBR（边缘清洗液）。流量稳定性直接决定胶膜厚度均匀性和显影线宽（CD）一致性，是保障良率的关键。

CDS 化学品供应系统：

作为 Cabinet 内的精密供液泵或循环泵，在有限空间内提供高稳定性的流体输送，减少管路振动和压力波动。

高精度计量与添加：

配合高精度质量流量计（MFC），实现微量化学品的精准配比，低脉动确保计量精度不受流量波动干扰。

日本进口Pillar皮拉SPELA™300风囊泵PS-E系列：