日本进口Pillar皮拉中温用风囊泵PS系列
日本 Pillar（皮拉）的 PS系列 是其经典的中温用气动风囊泵（Bellows Pump）。该系列专为半导体及高纯流体输送设计，核心优势在于将泵送功能与蓄能缓冲功能集成于单一泵体，在提供高化学兼容性的同时，有效降低了流体脉动。

日本进口Pillar皮拉中温用风囊泵PS系列

日本PILLAR株式会社（中文品牌名“铍乐"）创立于1924年，总部位于日本大阪，是一家在东京证券交易所上市有名的流体制御机器制造商。公司依托核心的密封与材料技术，专注于水、油、有毒气体及化学品等流体的控制设备设计、开发与制造。

PILLAR的核心业务涵盖电子机器关联与产业机器关联两大领域，主要产品包括半导体及医疗领域用氟树脂接头、管件、泵，以及各类机械密封、垫片等。在半导体设备清洗零部件领域，其研发能力位居日本第一，全球份额高达约90%，业内享有“PILLAR标准"的美誉。此外，其缓冲及密封产品在中国高铁领域份额也约占70%。

目前，PILLAR在全球多地设有分支机构。中国是其重要的战略市场，公司不仅在多地设有贸易公司，还在安徽滁州建设了中国的生产基地，以“本地生产、本地销售"的策略深入布局中国市场。

核心优势：泵与蓄能器一体化

内置蓄能缓冲： PS系列最大的技术亮点是将泵功能与蓄能器功能（Accumulator functions）集成在单一泵体中。这种设计使得单台设备即可实现脉动的大幅降低，无需额外安装庞大的外部脉冲阻尼器。

平稳输送： 相比传统气动隔膜泵，PS系列在输送流体时脉动更小，有效保护下游精密部件，确保工艺流体的均匀性。

材质与洁净标准：

全氟树脂流道： 所有与液体接触的部件（Liquid contact part）均采用 PFA 或 PTFE 等氟碳聚合物制造。

零金属污染： 杜绝金属离子析出，满足半导体工艺对洁净度的严苛要求。

超厉害的耐腐蚀与耐热： 能够安全输送强酸、强碱等腐蚀性化学品，且在高温下保持优异的化学稳定性。

高洁净度： 采用无叶轮设计，不会产生微气泡、粒子及离子污染，产品通常在 Class 100 级洁净室内完成测试与包装，非常适合高洁净环境。

应用场景：

半导体清洗与供液： 广泛应用于半导体清洗设备（湿法清洗单元）中的强酸/强碱输送，以及化学药液供给单元（CDS）的循环系统。

光刻胶与高纯试剂输送： 凭借无金属污染和精准流量控制特性，适用于光刻胶、显影液等高敏感化学试剂的输送。

高纯流体处理： 适用于电子级纯水、超纯水及各类高纯化学品的输送，保障芯片良率。

注意事项：

气源要求： 驱动气源必须经过过滤和减压，确保压力稳定在 0.2~0.5 MPaG 之间，以维持最佳的脉动控制效果。

接口匹配： 支持多种接口形式，通常可配合 Pillar 自家的 SUPER 300 (P系列) 接头使用，确保整个管路系统的洁净与无泄漏。

安全与维护： 纯气动结构使其在防爆环境或高温环境下运行极其稳定；由于结构相对简单且无复杂电子元件，日常维护频率极低。

日本进口Pillar皮拉中温用风囊泵PS系列：