日本进口Pillar皮拉药液补充用定量泵PW系列
日本 Pillar（皮拉）的 PW系列 是一款专为化学品补充（Chemical refilling）设计的气动定量风囊泵（Metering pump）。
与常规的风囊泵不同，PW系列的核心优势在于其重复排出精度（High repetition discharge accuracy），能够在每一次往复冲程中提供极其稳定、等量的流体输出，非常适合

日本进口Pillar皮拉药液补充用定量泵PW系列

PILLAR皮拉，株式会社 PILLAR，1924 年创立于日本大阪，是东京证券交易所 Prime 上市的百年流体控制与密封技术专业厂商，深耕密封材料、高纯流体管路元器件研发制造，2024 年迎来品牌百年。

企业以洁净、安全、前沿为核心理念，依托氟树脂材料与防泄漏核心技术，产品覆盖半导体、新能源电池、医药化工、汽车船舶等行业。1984 年正式切入半导体领域，自研 SUPER300 系列 PFA 高纯接头，其中 P 系列柱式安装接头凭借入珠式锁紧密封结构，在晶圆清洗设备管路市场全球占有率超 90%，成为行业先锋产品。

公司具备完整研发、洁净生产与检测体系，产品接液材质选用高纯 PFA/PTFE，低离子析出、耐强腐蚀，适配半导体湿制程高纯药液输送。在全球多国设立子公司与生产基地，中国滁州建有生产基地，为国内半导体设备厂商提供稳定的流体管路配套方案，与晶圆机械手、Loadport 等设备配套，服务芯片制造全流程。

PILLAR皮拉PW 系列是一款药液补充用定量泵，属于气动风囊泵类型，核心定位是解决半导体湿法工艺中化学品补充的精准定量问题。

核心定位：高精度定量输送

优良的定量性能： PW系列专为需要定量计量（Quantitative metering performance）的应用而设计。其气动驱动结构保证了超高的重复排出精度，确保每次补充的药液量高度一致。

恒定流量输出： 属于恒流型（Constant flow rate type）泵，通过精确控制冲程和速度，实现平稳的流体输送。

材质与高洁净设计：

全氟树脂流道： 所有与液体接触的部件（Liquid contact part）均采用 PFA 或 PTFE 制造。

高化学与耐热性： 具备超高的耐化学腐蚀和耐高温性能，能够安全输送各类高纯化学品。

高洁净度（Cleanliness）： 材质本身不产生析出物，且无机械摩擦产尘，非常契合半导体及高纯流体环境的要求。

应用场景：

化学品供给单元（Chemical feed unit）：

用于向机台的药液槽或循环系统中定量补充消耗掉的化学试剂，维持药液浓度的绝对稳定。

清洗系统（Cleaning systems）：

在半导体湿法清洗设备中，用于精确添加清洗液、显影液或微量添加剂。

高纯试剂灌装与分装：

利用其高精度的定量特性，用于电子级化学品的小剂量定量分装。

使用提示：

型号识别： 常见型号如 PW-5, PW-10，数字通常代表单冲程的毫升数（mL/shot）。

气源要求： 为了保证定量的准确性，驱动气源必须保持高度稳定，建议使用精密调压阀。

操作规范： 使用前请务必仔细阅读操作手册（Operation manual），以确保气动冲程的设定符合工艺要求。

日本进口Pillar皮拉药液补充用定量泵PW系列：