KOFLOC（小岛）科赋乐株式会社微小流量计介绍

日本 KOFLOC（小岛），1949 年成立，日系微小流量厂商，半导体、涂布、设备吹扫、实验室气路大量使用，分为机械浮子流量计（转子）、热式质量流量控制器 MFC/MFM两大主线，也有少量液体流量控制器。
原理：锥形玻璃管 + 浮子，自带精密针阀，现场目视读数，手动调节流量，无电气信号输出，常用于 N₂、CDA 吹扫气路、SSD 离子风棒供气监测、旋涂机保护气路。

主流 MFC 型号（半导体 / 设备常用）

1. 3660 / 3665 系列（标准经济型 MFC）

• 量程：10SCCM‑50SLM

• 精度：±2% FS；重复性 ±0.5% FS

• 信号：0‑5V 模拟，D‑Sub9；介质 N₂、Air、Ar、O₂等非腐蚀气体

• 定位：设备工艺气、配比气，性价比机型，国内存量很大。

2. 5400 / 5410（金属密封 MFC）

• 金属密封，低泄漏 He leak＜1×10⁻⁸ Pa・m³/s

• 适配半导体洁净气路，FAB 腔体，可接部分弱腐蚀气体。

3. DF‑250C / DF‑300C 新一代数字 MFC

• 精度：±1.0% FS；响应时间≤1s；RS485 数字通讯；带本地显示；

• 量程 10SCCM~500SLM；CE、RoHS；半导体设备新款优选。

4. 3100 /3760：MFM（只测流量，无控制阀）仅测量输出，不能调节流量，用于气路监测、旁路流量采集。

5. D3810 /3810DSII：低成本数显 MFM经济型数字质量流量计，带屏幕显示瞬时 / 累积流量，无调节阀，适合监测吹扫氮气流量。

三、液体流量控制器

• FCL‑200：液体质量流量控制器；用于溶剂、药液微小液体精准控制，旋涂、点胶工艺。

四、选型区分要点（半导体设备场景）

1. RK 浮子流量计：便宜、直观；无自动控制，温压变化读数不准；适合吹扫、保护气、手动设定，如 CABX 离子棒氮气供气监测。

2. MFC 质量流量控制器：不受温压影响、可程序自动控制；价格高；适合工艺气体配比，需要 PLC 自动设定流量。

五、对标替代

• 浮子 RK 系列：PISCO、CKD 浮子流量计；

• MFC：HORIBA STEC、AZBIL 山武；

注意：MFC 不能直接互换，需要核对量程、接口、信号定义、气体标定。