HORIBA堀场自动化原子力显微镜SmartSPM扫描探针显微镜是第一个100%自动化的系统，它为所有AFM和STM模式下的纳米级*材料研究提供了快速、计量和高分辨率测量的技术

HORIBA堀场自动化原子力显微镜SmartSPM扫描探针显微镜是第一个100%自动化的系统，它为所有AFM和STM模式下的纳米级*材料研究提供了快速、计量和高分辨率测量的技术。SmartSPM可以从达到100µm范围扫描到原子级分辨率扫描。它能够与光学光谱（SNOM、Raman、光致发光和TERS/SERS技术）无缝耦合。

HORIBA堀场自动化原子力显微镜操作自动化

全自动激光-光电二极管准直

更换针尖简单方便

丰富的各种测量模式

系统调试速度快

分辨率/稳定性/精确度

闭环平板扫描器即可实现100µm大范围扫描，也可实现分子/原子分辨率扫描。

标准测量无需隔振系统。

低噪音传感器设计保证了在分子分辨率成像过程中也能打开闭环，获得准确的结果。

快速扫描

采用业界最高的高共振频率扫描器（XY>7kHz和 Z>15kHz），优化的扫描器控制算法可以轻松实现快速扫描。

标配几乎所有SPM模式，无需添加任何附件和额外成本

包括开尔文探针显微镜，压电响应力显微镜，纳米蚀刻和纳米操纵。

轻松升级到纳米拉曼光谱仪

SmartSPM无论从软件设计到硬件设计都能与拉曼系统进行无缝的耦合。

各类日系工业品:,SSD西西蒂(离子风扇)、AND爱安得（电子天平）、SAN-EI三英(点胶阀） HOYA光源,KURABO脱泡机,USHIO牛尾照度计,Tsubosaka壶坂电机,IMV爱睦威,PISCO匹士克接头,hakko八光电机,lambda拉姆达膜厚仪,MUSASHI武藏,SAKURAI樱井,aitec艾泰克,otsuka大塚（膜厚仪、粒度仪）,Hitachi日立（扫描电镜）,MIKASA米卡萨（旋涂设备、显影）、POLARION普拉瑞、AITEC艾泰克（检查光源）、Iwasaki岩崎、OTSUKA大塚电子（光学膜厚仪）、KOSAKA小坂（台阶仪）、HORIBA堀场仪器（分析仪）、SIBATA柴田科学（环境测定）、TORAY东丽浓度仪（氧气分析仪）、yamada山田卤素强光灯、CEDAR思达