日本进口HORIBA堀场标准显微光谱系统
HORIBA 堀场标准显微光谱系统（SMS）‌ 是一套模块化、高灵活性的显微光谱测量平台，专为材料科学、半导体、纳米技术及生命科学研究设计，可在标准光学显微镜基础上集成多种光谱分析功能，实现‌拉曼、光致发光（PL）、时间分辨PL、反射/透射、电致发光（EL）、暗场散射‌等多种技术的一体化表征 。

日本进口HORIBA堀场标准显微光谱系统

HORIBA 堀场标准显微光谱系统（SMS）‌ 是一套模块化、高灵活性的显微光谱测量平台，专为材料科学、半导体、纳米技术及生命科学研究设计，可在标准光学显微镜基础上集成多种光谱分析功能，实现‌拉曼、光致发光（PL）、时间分辨PL、反射/透射、电致发光（EL）、暗场散射‌等多种技术的一体化表征 。

该系统采用‌反射式光路设计‌，兼容266 nm–1064 nm宽波段激发与250 nm–2200 nm发射范围，支持多种半导体材料（如ZnO、GaN、GaAs、CIGS、InP等）的微区光谱分析 。通过搭配高精度光谱仪（如MicroHR、iHR320）、深冷探测器与多波长激光器，SMS可实现优于80 cm⁻¹的低波数拉曼检测与高灵敏度PL成像，空间分辨率可达亚微米级（<2 μm）。

系统支持‌自由升级与定制化配置‌，既可作为完整系统交付，也可作为升级模块适配Olympus、Nikon、Zeiss、Leica等主流品牌的 upright 显微镜，最大限度保护用户原有设备投资 。其模块化架构便于后期扩展新功能，如增加电致发光或时间分辨测量模块，满足研发进阶需求 。

SMS系统搭载‌LabSpec 6 软件平台‌，提供直观的操作界面，支持自动化数据采集、mapping成像、多通道同步控制与高级分析功能，显著提升实验效率与数据可重复性 。同时，所有核心组件（光栅、光谱仪、探测器）均由HORIBA自主研发制造，确保系统兼容性与长期稳定性，降低维护成本 。

广泛应用于Micro-LED、钙钛矿太阳能电池、二维材料、纳米颗粒等前沿领域的多模态表征，助力科研人员在微观尺度下深入解析材料的光学、电子与结构特性 。

日本进口HORIBA堀场标准显微光谱系统

特色技术

拉曼光谱

SMS系统提供高性能的显微拉曼光谱分析，其性能参数可与台式系统媲美，同时具备灵活性：

采用独特设计，配备锐利滤波截止技术，可有效检测低波数拉曼信号（保证优于80 cm⁻¹）

支持图谱扫描等高级功能

光致发光光谱

SMS系统在设计上主要采用反射式光路，其激发波长范围（266 nm – 1064 nm）与发射波长范围（250 nm – 2200 nm）均十分宽广。

可在同一系统上集成多种技术，如基于滤光片的荧光成像与完整的高光谱光致发光成像

支持最大300 mm晶圆的图谱扫描

时间分辨光致发光（寿命分析）

通过选配时间相关单光子计数模块，可为任意SMS系统增加时间分辨光致发光（寿命点测与成像）功能。时域分析能有效排除浓度变化与光漂白现象的干扰，并可揭示载流子动力学（如光伏领域）及半导体缺陷等随时间演变的微观过程。

该TCSPC模块以100 MHz真频系统运行，采集速度极快，仅需数毫秒即可完成衰减曲线测定，从而实现动态寿命测量。用户可从我们当前超过70款紧凑型脉冲光源（持续扩充中）的目录中自由选配。

反射与透射光谱

可在紫外至近红外波段实现宽光谱范围的反射率与透射率测量，并保持高空间分辨率。

电致发光与光电流测量

得益于开放式显微框架设计，SMS系统可集成微型探针，实现对LED、光伏材料及其他半导体材料的电致发光测量。

暗场散射纳米光谱技术

结合显微镜的暗场功能，SMS系统可进行纳米级光谱分析。通过暗场模式下的光散射光谱测量，实现对纳米材料的特性表征。