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日本进口 HORIBA堀场XYΘ绝对位置编码器
产品简介:

日本进口 HORIBA堀场XYΘ绝对位置编码器
HORIBA堀场nanoGPS OxyO™ XYΘ绝对位置编码器‌是一款高精度的三维绝对位置与姿态检测设备,专为纳米级精确定位需求设计,适用于科研、半导体制造及精密自动化系统。

产品型号:nanoGPS OxyO

更新时间:2026-04-10

厂商性质:代理商

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产品介绍

 日本进口 HORIBA堀场XYΘ绝对位置编码器

HORIBA堀场nanoGPS OxyO™ XYΘ绝对位置编码器‌是一款高精度的三维绝对位置与姿态检测设备,专为纳米级精确定位需求设计,适用于科研、半导体制造及精密自动化系统。

该编码器基于图像识别技术,通过拍摄图案化基底并实时解析图像,可‌同时获取X、Y位移和θ旋转角三个绝对坐标‌,实现一次性快照式测量,无需初始化或回零操作。其定位重复精度可达‌纳米级(x, y)和10微弧度(θ)‌,优于传统激光干涉仪,且部署更简便、成本更低。

设备支持‌USB 3.0直连PC‌,无需额外转换器,绝对位置数据可直接读取;同时具备非接触式测量优势,可在3 mm至100 cm的离轴距离下灵活读取位置,适用于真空环境或复杂机械集成场景。该产品由HORIBA Scientific提供,支持OEM集成或独立使用,广泛服务于工业、学术及传感器产业链客户。

 日本进口 HORIBA堀场XYΘ绝对位置编码器

日本进口 HORIBA堀场XYΘ绝对位置编码器


nanoGPSOxyOT编码器是一个X,Y,绝对位置编码器,可作为HORIBA Scientific的OEM或独立的解决方案。

nanoGPSOxyOT技术是基于对图案的基板进行拍照,并将此图片解释为位置(X,Y)和方向(θ).

主要特点

·3个绝对坐标的快照测定

·在纳米范围内(x,y)和10微弧度(θ)的定位精度

·比激光干涉仪系统更容易部署,成本更低

·USB3连接,直接在PC上获得绝对位置;不需要转换器,没有格式上的麻烦

·读取位置的灵活性:可在距离上进行(根据设计,从3毫米到100厘米)。

·带有摄像头的参考框架和作为目标的图案基板提供了巨大的工程实施灵活性(没有线性和旋转编码器的通常限制)

·可以方便地安装/拆卸,即用于验证或校准操作

·可以作为现有平台组件的升级或改造使用

·在平面工作台+旋转台组合的情况下:比传统光学尺解决方案更便宜、更精确

·编码区:范围从3 mmx3 mm到300 mmx300 mm或更大

典型的使用案例

·提供可靠的过夜自动化(重新定位精度小于10纳米)

·在真空中,对放置在xyθ平台组件上的物体进行精确定位和定向(通过窗口观察,在20毫米的距离上)

·当在2台机器之间移动一个零件时,可以在每台机器中对该零件进行精确定位。

·用一个长距离位置传感器改装一个手动+压电式平台组件

·位置传感器价值链上的所有参与者(最终用户、集成商、分销商,但也包括希望增加基目录的位置传感器制造商

·工业或学术界的个人用户



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