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产品型号：C10506-07-06
更新时间：2026-07-18
厂商性质：代理商
访问量：13
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产品分类
HAMAMATSU 滨松光子，全称滨松光子学株式会社（Hamamatsu Photonics K.K.），日本全球顶尖光子科技企业，1953 年创立，总部静冈县滨松市，是光电子、射线检测、激光设备领域龙头厂商，核心产品线，光电倍增管 PMT，光半导体器件，X 射线 / 射线发生装置，激光器与光学仪器，整机检测设备。
通过配备多波长激光器，可实现一个单元对可见光至近红外光的操作
iPHEMOS-MPX是一款高分辨率微光显微镜，它能通过探测半导体器件中缺陷导致发出的微弱光和热来定位失效位置。
特点
可安装两个超高灵敏度相机
通过涵盖不同的发射分析和热分析检测波长范围，从而可以轻松选择与样品和故障模式相匹配的分析技术。
可安装多达 4 个 OBIRCH、DALS、EOP 和激光器标记光源
高灵敏度微距镜头和多达 10 个镜头，适用于每个探测器灵敏度波长
专为先进器件设计的高精度载物台
光学载物台的工作范围
| X | 60 mm |
|---|---|
| Y | 60 mm |
| Z | 20 mm |
* 由于使用了探针台，加上样品台或 NanoLens 安装的干涉，工作范围可能窄于这些值。
基本显示功能
叠加显示/对比度增强功能
iPHEMOS-MPX 将微光图像叠加在高分辨率图案图像上，以快速定位缺陷点。
对比度增强功能使图像更清晰、更细腻。
显示功能
注释：评论、箭头和其他指示符可以显示在图像上所需的任何位置。
刻度显示：可以在图像上分段显示刻度宽度。
网格显示：可以在图像上显示垂直和水平网格线。
缩略图显示：图像可以存储为缩略图并进行调用，并且可以显示图像信息，例如载物台坐标。
拆分屏幕显示：可以在 6 窗口屏幕中一次显示图案图像、微光图像、叠加图像和参考图像。
详细参数：
| 尺寸/重量 | 主机：1654 mm (W) × 1541 mm (H) × 1200 mm (D)*1，约 1100 kg*2 操作台*3：1000 mm（宽）× 700 mm（高）× 800 mm（深），约 39.2 kg（C16216-01 操作台） / 1480 mm（宽）× 700 mm（高）× 800 mm（深），约 48.6 kg（C16216-02 操作台） |
|---|---|
| 线路电压 | 单相 200 V 至 240 V |
| 用电功耗 | 约 3300 VA |
| 真空度 | 至少 80 kPa |
| 压缩空气*4 | 0.5 MPa ～ 0.7 MPa |
*1：不包括突出部分
*2：包括一个样品载物台
*3：选项
*4：包括调节器
