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产品型号：C15740-01
更新时间：2026-07-18
厂商性质：代理商
访问量：23
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产品分类
HAMAMATSU 滨松光子，全称滨松光子学株式会社（Hamamatsu Photonics K.K.），日本全球顶尖光子科技企业，1953 年创立，总部静冈县滨松市，是光电子、射线检测、激光设备领域龙头厂商，核心产品线，光电倍增管 PMT，光半导体器件，X 射线 / 射线发生装置，激光器与光学仪器，整机检测设备。
MiNY PL 是一种使用光致发光 (PL) 测量方法的微型 LED 晶圆检查系统。
详细参数：
| 型号名称 | C15740-01 |
|---|---|
| 支持的晶圆尺寸 | 100 mm（4 英寸）或 150 mm（6 英寸） （其他尺寸可协商提供） |
| 测量时间 | 约 12 分钟 （10 倍物镜，PL 测量，4 英寸晶圆） |
| PL 测量波长 | R、G、B |
| 空间分辨率 | 1 μm/像素（标准模式），0.5 μm/像素（高分辨率模式） |
| 测量项目 | 形状异常、PL 强度、PL 波长 |
| 外部尺寸/重量 | 2000 mm (W) × 1878 mm (H) × 1130 mm (D) / 约 1800 kg |
| 洁净室 | 兼容 |
适配晶圆：标准 4 英寸 (100mm)、6 英寸 (150mm)，其他尺寸可定制
检测效率：10 倍物镜下，整片 4 英寸晶圆全检约 12 分钟
分辨率：标准 1μm / 像素；高分辨模式 0.5μm / 像素
检测光谱：支持红、绿、蓝 RGB 三色 Micro LED 同步测量
整机尺寸 / 重量：2000×1878×1130mm，整机约 1800kg，洁净室兼容机型
外观形貌缺陷：裂纹、划痕、粉尘、芯片形状畸变（AOI 视觉缺陷）
PL 发光强度：检出漏电流、电压异常导致的发光不均、暗点死灯
发光波长偏移：自研 λ-Capture 二维波长成像，快速识别外延层工艺波长不良
非接触、无损、无需通电
依靠外部光源激发芯片发光，不用探针接触电极，避免晶圆划伤，可放在外延 / 刻蚀前段提前筛除不良品，减少后端制程损耗。
整片二维同步成像，速度远超单点光谱仪
搭载 LRG 线性渐变二向色分光光路 + 高灵敏面阵相机，一次性获取整片晶圆所有芯片波长、亮度数据，不用逐点扫描。
可检出 AOI、EL 漏检隐性缺陷
既能测物理外观，又能捕捉晶体发光层面的隐性波长、亮度缺陷；相比 EL 电测可实现 100% 整片全覆盖高速检测。
全自动智能分选判定
内置算法自动识别单颗芯片，按预设阈值区分良品 / 不良品，输出缺陷分布图，便于产线追溯工艺问题。
Micro LED、Mini LED 晶圆外延、刻蚀、蒸镀工序质检
AR/VR 微型显示芯片、直显屏幕 LED 晶圆全检
红绿蓝三色芯片分选、工艺良率分析、失效定位
实验室新材料外延片发光特性批量评估
对比 EL 电致发光：无需探针接触、检测速度更快、前段制程即可检测
对比单点光谱仪：整片并行成像，检测效率提升数十倍
对比 AOI 光学外观：额外增加发光强度、波长光学性能检测，覆盖全部芯片不良类型
