HORIBA堀场系列压力不敏感MFC金刚石 MPCVD专用质量流量控制器。该质量流量控制器可以控制不同范围的流量：10 SCCM至1000 SLM。SEC-N100系列还支持各种通信模式，SEC-N100系列应用于半导体及电子制造行业、光伏新能源行业、分析仪器与科研实验室、生物医药与化工领域、镀膜、环境监测、一般工业制程。HORIBA质量流量控制器半导体金刚石流量计

HORIBA堀场系列压力不敏感MFC、HORIBA堀场系列压力不敏感MFC

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HORIBA堀场CRITERION™系列压力不敏感MFC、HORIBA堀场CRITERION™系列压力不敏感MFC

D700T

高性能压力不敏感质量流量模块

D700T 是专为关键半导体制造工艺设计的高性能压力不敏感质量流量模块。D700T 采用 HORIBA 基于压力计算的 CRITERION 流量测量与控制技术，提供行业先进的可重复性与高精度性能。此外，D700T 的特别之处在于采用了具有的双阀结构高级流量控制算法，使客户的气体输送系统能够解决多种挑战。

全范围 ≤ 100 毫秒快速稳定时间（设定到设定、上升与下降）

进、出口压力不敏感的性能

先进的故障检测，用于诊断压力传感器漂移、阀座泄漏和流量精度变化

重复性在 0.15 %S.P. 以内

最佳精度规格在 0.45 %S.P.* 以内（标准：0.8 %S.P.）

更宽的工作温度范围（15-60 °C）

*注：D700T 为单气体配置。请向 HORIBA 询问规格。

典型应用场景

适用于半导体先进制程各类核心工艺，涵盖干法刻蚀、PECVD、PVD薄膜沉积、扩散工艺、载气与反应气配比控制，同时适配泛精密设备供气、实验室精准配气、特种气体流量管控场景，是量产半导体设备常用的压力式MFC。

HORIBA D700T、堀场D700T、CRITERION D700T、压力不敏感质量流量模块、压差式MFC、双阀型MFC、半导体质量流量控制器

压力不敏感MFC、≤100ms高速响应、EtherCAT通讯、双阀安全切断、低泄漏MFC、超洁净MFC、压电阀控制、预测性维护、多气体多量程可调

半导体工艺气体控制、刻蚀气体配比、薄膜沉积供气、先进制程MFC、高纯腐蚀性气体控制、量产设备气路控制、

配备可靠的热传感器和电磁阀

流量控制范围广：10 SCCM 至 200 SLM (N2)

应用广泛

可集成至各种制造系统，包括：液晶显示器、光伏电池、功率半导体、镀膜一般工业：燃烧器气体控制；大气气体控制；混合气体生产；换气量测量

研发：各种气体传感器和燃烧室性能评估设备；生物技术相关评价

实验室：用于各种实验、气体取样的气流控制器

SEC‑E 属于经济型模拟款经典 MFC，是堀场早期主力通用流量控制器；搭载热式流量传感器 +电磁阀（螺线管阀），以模拟 0‑5V 信号控制流量。

无多气体多量程 (MR‑MG) 功能，出厂单气体、单量程标定，现场不可切换量程气体

无内置压力补偿，上游必须配置稳压阀，管路压力波动会影响流量精度

对标新一代数字机型：SEC‑Z500X / SEC‑Z700S（压电阀、数字总线），E 系列属于老款电磁阀方案，多用于光伏、面板、实验室、非先进半导体制程

典型应用场景

光伏、平板显示镀膜产线

工业热处理炉、烧结炉、燃烧供气

实验室研发设备、气体配比装置

普通 CVD 工艺（供气压力稳定工况）

用于实验室研究与测试的气体质量流量控制器

气体质量流量控制与测量和对PM2.5参考值的测量