HORIBA堀场在线监控椭偏仪操作界面简单UVISEL Plus在线椭偏仪使用DeltaPsi2软件驱动，该软件适用于HORIBA所有椭偏仪

HORIBA堀场在线监控椭偏仪操作界面简单

UVISEL Plus在线监控椭偏仪可以很容易的安装在各类反应腔（PECVD、MOCVD、磁控溅射、蒸镀、ALD和MBE），实时监控薄膜沉积或刻蚀过程。

UVISEL Plus在线椭偏仪结合了速度快、灵敏度高、动态范围宽和准确等优点，使其能够在原子层水平监控沉积/刻蚀，即使过程速度比较快也可实现。

HORIBA堀场在线监控椭偏仪操作界面简单采用新型适配器组件可以实现台式设备和在线系统的切换。

UVISEL Plus在线椭偏仪使用DeltaPsi2软件驱动，该软件适用于HORIBA所有椭偏仪。DeltaPsi2具有众多优良的建模和拟合处理功能，操作界面简单，可为研究者提供便捷的椭偏分析手段。优良的通讯协议，TCP/IP和RS232已被设计用于生产环境和OEM。

• 高速、准确

• 完整集成了实时测量、建模和报告软件包

• 便于在线和离线间切换

可获得的信息

• 薄膜厚度

• 光学常数（n,k）

• 材料组成

各类日系工业品:,SSD西西蒂(离子风扇)、AND爱安得（电子天平）、SAN-EI三英(点胶阀） HOYA光源,KURABO脱泡机,USHIO牛尾照度计,Tsubosaka壶坂电机,IMV爱睦威,PISCO匹士克接头,hakko八光电机,lambda拉姆达膜厚仪,MUSASHI武藏,SAKURAI樱井,aitec艾泰克,otsuka大塚（膜厚仪、粒度仪）,Hitachi日立（扫描电镜）,MIKASA米卡萨（旋涂设备、显影）、POLARION普拉瑞、AITEC艾泰克（检查光源）、Iwasaki岩崎、OTSUKA大塚电子（光学膜厚仪）、KOSAKA小坂（台阶仪）、HORIBA堀场仪器（分析仪）、SIBATA柴田科学（环境测定）、TORAY东丽浓度仪（氧气分析仪）、yamada山田卤素强光灯、CEDAR思达