KOSAKA小坂研究所台阶仪/粗糙度轮廓仪台阶仪可以应用在半导体，光伏/太阳能，光电子，化合物半导体，OLED，生物医药，PCB封装等领域的薄膜厚度，台阶仪测量薄膜厚度,台阶高度，粗糙度（Ra,Rq,Rmax...），划痕深度，磨损深度，薄膜应力（曲定量率半径法）等定量测量方面。其高精度，高重复性，自动探索样品表面

产品型号：ET200A

更新时间：2025-07-26

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KOSAKA小坂研究所台阶仪/粗糙度轮廓仪
KOSAKA小坂研究所台阶仪/粗糙度轮廓仪
台阶仪可以应用在半导体，光伏/太阳能，光电子，化合物半导体，OLED，生物医药，PCB封装等领域的薄膜厚度，台阶仪测量薄膜厚度,台阶高度，粗糙度（Ra,Rq,Rmax...），划痕深度，磨损深度，薄膜应力（曲定量率半径法）等定量测量方面。其高精度，高重复性，自动探索样品表面台阶仪/膜厚仪ET4000系列产品参数

最大试片尺寸	210×210mm~300×400mm
重现性	1σ 0.5nm以内
测定范围	Z:100um X:100～305mm (Y移动量:150~400mm)
分解能	Z:0.1nm X:0.1um
测定力	0.5UN~500UN (0.05mg-50mg)

台阶仪可以应用在半导体，光伏/太阳能，光电子，化合物半导体，OLED，生物医药，PCB封装等领域的薄膜厚度，台阶仪测量薄膜厚度,台阶高度，粗糙度（Ra,Rq,Rmax...），划痕深度，磨损深度，薄膜应力（曲定量率半径法）等定量测量方面。其高精度，高重复性，自动探索样品表面

KOSAKA小坂研究所台阶仪/粗糙度轮廓仪