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产品型号：EC2500H/EC2700H
更新时间：2026-05-29
厂商性质：代理商
访问量：314
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产品分类
KOSAKA/小坂研究所圆柱度台阶仪
KOSAKA/小坂研究所圆柱度台阶仪
日本精密测量仪器老牌厂商，台阶仪 / 轮廓仪 / 粗糙度仪全球主流品牌，1950 年创业，70 余年专注 “测る（测量）、送る（流体）、作る（自动化）" 三大领域。真圆度圆柱度测定机EC1850H 产品参数
台阶仪（微细形状测定机）：ET200A、ET4000、NT 系列。
轮廓 / 粗糙度仪：SE500、SEF580、DSF900。
圆度 / 圆柱度仪：EC2500H、EC5100H。
应用：半导体（晶圆 / 光刻胶 / TSV）、FPD（OLED/LCD）、MEMS、光学、精密加工
| 机构·方式 | 多孔质静压空气轴承 · 工作台回转式 |
|---|---|
| 半径方向 回转精度 | (0.02+0.00035H)um H:工作台面上算起的高度(mm) |
| 最大测定径 最大测定高度 | 内外径都是Φ368mm 外径470mm, 内径320mm |
| 最大装载径/积载重量 | Φ510mm/25kg |
| 上下移动量 | 300mm (使用b触针臂时） |
利用长探针杆臂以及新开发“one touch"式传感器holder可自由进入深穴、平面、倾斜面、内径、外径……等测定点。软件具有提醒功能，可实现编程后一次性的测量样品所有参数。另有防止探针落差过大卡针之保护机构。
横臂方向（半径方向）或上下方向均有自动停止机能，利用伺服控制，可自动找出测定位置，几乎无需手动微调整，操作性大幅上扬。
此指定方式，可从直线图形上，任何位置直接指定之，使操作上更加方便，无需细微调整。
