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产品型号:(450×600mm
更新时间:2026-04-16
厂商性质:代理商
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DNK大日本科研桌面遮罩对齐器曝光机
DNK大日本科研桌面遮罩对齐器(即Desktop Mask Aligner)是一款专为实验与研发场景设计的紧凑型光刻对准设备,适用于小尺寸晶圆(最大Ø4″)和掩膜版的接触式曝光工艺。
该设备主打高性价比与桌面化布局,整机尺寸仅为450×600mm,可直接安装于实验台面,节省空间。其核心配置包括:
UV LED曝光光源:标准搭载365nm或405nm波长,有效曝光范围φ4″,光照强度最高达14mW/cm²(365nm)
手动操作模式:手动对准与曝光,降低使用门槛,适合教学、研发调试等非量产环境
多规格兼容:支持Ø2″、Ø3″及最大Ø4″的晶圆尺寸,掩膜版尺寸为5″×5″
8倍放大对准显微镜:便于精确对位,提升曝光精度
该设备由大日本科研株式会社(DNK)研发,广泛应用于LED、MEMS、化合物半导体等领域的实验室研究与小批量试产环节。虽然不具备自动化功能,但凭借其稳定性能和合理价格,成为高校、科研机构及初创企业光刻工艺入门的理想选择。
DNK大日本科研桌面遮罩对齐器曝光机
主要特长
非常适用于实验·研发之用途。
紧凑型设计(450x600mm),可在桌面上安装使用。
搭载UVLED爆光灯房标准(有效曝光范围_4")。
接触式曝光模式(可支持其他的曝光模式,为选购项)。
手动操作,价格公道合理。

主要规格
