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产品型号:MA-1400
更新时间:2026-04-17
厂商性质:代理商
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产品分类
进口DNK大日本科研实验研究用曝光装置
DNK大日本科研(大日本科研株式会社)是日本精密光刻设备制造商,专注于为半导体、FPD(平板显示)、MEMS、有机EL、触摸屏等领域提供高精度曝光解决方案。其实验与研究用曝光装置系列,以高稳定性、灵活配置和紧凑设计著称,广泛应用于高校、科研院所及企业研发部门。
核心产品系列:实验·研究用曝光装置
1. MA-1200 型 手动式整面单次曝光机
适用基材:玻璃、晶圆(Wafer)、胶片等
最大曝光尺寸:500mm × 500mm
曝光方式:支持接触曝光(软接触/硬接触)与接近曝光
光源系统:可选配500W、1kW、2kW、3.5kW超高压水银灯,搭配特殊透镜与聚光镜,实现均匀照射
特点:
手动操作,结构紧凑,适合小批量试制与高混合生产
可选配无尘机房、自动对位、背面对位等功能
支持破碎基板等特殊尺寸定制(需商洽)
该设备是实验室与研发场景的理想选择,尤其适用于新材料、新工艺的验证测试。
2. MA-1400 型 简练设计手动曝光装置
基板尺寸:最大 400mm × 400mm
光源功率:2kW 或 3.5kW 超高压水银灯
本体尺寸:W1440 × D1590 × H1882 mm
重量:400kg(含无尘机房)
特点:
专为玻璃、晶圆、胶片等材料设计,操作简便
适合小批量生产与教学研究使用
可扩展配置自动对位、硬接触(真空密着式)等选件
3. MA-1200A 型 高混合生产专用机
特色功能:实现稳定的自动间隙控制
应用场景:高混合、小批量生产、研发试作
优势:通过优化结构设计,减少占地面积,提升空间利用率
适用领域:半导体封装、MEMS器件、光电子器件研发
进口DNK大日本科研实验研究用曝光装置
简练设计的手动式整面单次曝光装置。
主要特长
对应玻璃、Wafer、胶片等基材的实验研究用手动整面单次曝光机。也适合小批量生产。
可选择接触曝光(软接触、硬接触)和近接曝光。
对应最大尺寸为500mmx500mm的基板。根据用途和基板尺寸,配置有最佳组合的光学系统。其中包括:超高压水银灯(500W、1kW、2kW、3.5kW)、各种光学镜、特殊镜头、聚光镜等。
