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产品型号：C11011系列
更新时间：2026-07-18
厂商性质：代理商
访问量：13
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产品分类
采用光谱 / 激光干涉光学检测，非接触、无损伤精准测量透明 / 半透明薄膜涂层厚度，用于产线在线监控、实验室质检，管控涂层均匀度，避免膜厚超标导致产品不良。
Optical MicroGauge膜厚测量系统C11011是一种利用激光干涉法的薄膜膜厚测量系统。可在60 Hz时进行高速测量，因此也可用于工厂内的线阵测量。与可选的映射系统结合使用，以便进行原型厚度分布测量。它可用于从监控制造过程到质量控制的各种用途。
特点：
非透明（白色）样品的红外光测量
60 Hz高速测量
测量带有图案或保护膜的晶圆
长工作距离
映射功能（可选）
提供外部控制
详细参数：
尺寸：
| 型号 | 玻璃量程 | 硅片量程 | 最大可测层数 | 适用场景 |
|---|---|---|---|---|
| C11011-01/02 | 25μm～2.2mm | 10μm～0.9mm | 单层 | 基础离线 / 简易在线，单层厚膜 |
| C11011-01W/02W | 25μm～2.9mm | 10μm～1.2mm | 单层 | 宽量程，厚基材 / 厚保护膜 |
| C11011-21/22 | 25μm～2.2mm | 10μm～0.9mm | 最多 10 层 | 多层复合膜（隔膜 + 陶瓷涂层、多层胶） |
| C11011-21W/22W | 25μm～2.9mm | 10μm～1.2mm | 最多 10 层 | 多层 + 超宽量程，锂电涂覆产线 |
测量速度：60Hz（单点 22.2ms），高速适配高速卷膜产线
精度
厚度＜500μm：±0.5μm
厚度＞500μm：±0.1% 读数
重复精度：硅基底 100nm、玻璃 250nm
光学探头
光斑 φ60μm，微小测点适合窄幅薄膜边部检测
工作距离 WD=155mm，远距离不干涉产线机械结构
光纤线缆 4m，主机可远离洁净涂布区
整机尺寸：412×383×123.5mm，净重约 8.5kg，功耗 50W
通信接口：RS232C、USB、PLC 外部 I/O，可直连涂布机、PLC 实现超差报警、联动调速
光源：1300nm 红外 LED，寿命长、抗粉尘、适配 24h 量产车间
兼容白色不透光样品
红外光源可测陶瓷涂覆隔膜、白色光刻厚胶、填充保护膜、哑光基材，普通白光膜厚仪会被散射光干扰无法读数。
高速在线量产适配
60Hz 高频采样，卷对卷高速涂布、分切、复卷全程实时连续监控，实时输出厚度曲线。
长工作距离测头
155mm 大工作距，避开涂布辊、导辊、烘箱高温区域，不占用产线空间。
多层膜解析（22W/21W 型号）
最多解析 10 层复合薄膜，同时读出基材厚度 + 表面涂层厚度，适配锂电隔膜陶瓷涂层、多层光学复合膜。
Mapping 全域扫描选配
搭配电动位移台可扫描整张样品，输出二维厚度分布云图，快速定位涂布厚薄不均、条纹、斑点缺陷。
锂电池行业（主流场景）
锂电基膜基材厚度、陶瓷涂覆层总厚度在线监测
极片厚绝缘涂层、电池外包装保护膜检测
半导体
晶圆表面厚保护膜、厚光刻胶、图案化硅片保护层
光学 / 显示
光学板材、柔性基底、偏光片厚胶层、光伏 TCO 厚膜
功能性薄膜
离型膜、防水保护膜、工业涂布厚胶卷材质检
