美萨代理KOSAKA小坂制作所真圆度仪代理KOSAKA小坂研究所台阶仪微细形状测定机 代理KOSAKA小坂研究所台阶仪微细形状测定机 微細形状測定機，
接触式金刚石探针，测量薄膜台阶高度（膜厚）、刻蚀深度、表面粗糙度、轮廓、薄膜内应力，半导体 / MEMS/FPD 行业主流设备，

美萨代理KOSAKA小坂制作所真圆度仪

圆度 / 圆柱度测量机 EC 系列

美萨代理KOSAKA小坂制作所真圆度仪

1950 年创立，总部东京，日本顶尖表面微观形貌精密测量仪器厂商。公司分为三大事业部：精密测定仪器部）、自动机械装置部、流体泵设备部；国内半导体、精密加工、光学行业主要使用测定部设备。行业地位：日本粗糙度 / 台阶仪厂商；接触式台阶仪 ET 系列是半导体、MEMS、FPD 行业主流设备

1、微细形状测定机（台阶仪 ET 系列）

测量薄膜台阶高度、刻蚀深度、表面粗糙度，Z 轴0.1 nm 分辨率，测量力可低至 0.5μN，可测软膜、光刻胶；配 CCD 可视定位，半导体、MEMS、FPD、硬盘磁头大量使用kosakalab。

• ET‑200A：研发通用型，样品最大 Φ160mm，实验室主流；2D/3D 测量

• ET‑4000A / M / L：全自动量产机型，支持 8‑12 英寸晶圆、大尺寸 FPD 基板；ET4300 专门针对 12 寸硅片

• ET‑8000：超大尺寸基板，可测 2200×2600mm 工件

2、粗糙度 & 轮廓一体机（Surfcom 系列）

同时完成粗糙度 Ra/Rz + 二维轮廓（角度、R 角、沟槽截面），符合 ISO/JIS 标准，模具、汽车零部件、光学零件质检。

• SEF580A‑M50/M58：分体式，控制器与测头分离，车间现场 + 实验室两用

• SEF800：台式高精度一体机，长行程扫描，64000 采样点

• EF550A‑M50：便携式轮廓测量机，产线现场巡检

3、圆度 / 圆柱度测量机 EC 系列

空气轴承回转台，回转精度，用于轴承、阀芯、气缸、轴类零件；型号 EC600（小型）、EC1850、EC2500、EC3600 大型机型kosakalab。

4、非接触光学测量（白光干涉 / 激光共聚焦 Surfcom）

无需探针，适合易损伤软样品；

• Surfcom 2000NX（白光干涉，0.01 nm 垂直分辨率）

• Surfcom3000CL/3500CLI 激光共聚焦，适合镜面、高倾斜工件

5、其他

• NT1520 小型接触式段差计；细穴测量机 FP‑LAB；关节臂三坐标 VMC 系列；各类粗糙度标准校准样块。

另外两大事业部（较少接触）：

1. 自动机械：LED 固晶机、玻璃切割裂片设备；

2. 流体事业部：各类工业泵、螺杆泵、液压系统，不涉及测量仪器kosakalab
   
   
   

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• 半导体：金属膜、氧化硅、氮化硅、光刻胶、RDL 再布线层、刻蚀深度；

• MEMS：牺牲层厚度、结构层台阶；

• FPD 显示：ITO 膜、钝化层；

• 科研：镀层、涂层、柔性薄膜；
  注意：台阶仪测膜厚需要样品上有台阶（刻出裸露基底），不能直接测整片无台阶样品。

• 超微测量力 0.5μN：可以直接测量光刻胶、PI 聚酰亚胺等软质薄膜，不会压坏样品表面，这是小坂 ET 系列一大强项ryokosha.c...。

• 直动式检出器：探针垂直直线运动，消除传统杠杆式摆动带来的角度系统误差，纳米台阶测量更稳定。

• CCD 可视定位：肉眼屏幕直接看到探针针尖，对准台阶边缘。

• 软件 i‑STAR31 功能：台阶高度、膜厚、粗糙度、波纹度、沟槽轮廓、薄膜应力计算；支持宏程序自动批量测量；输出 ISO/JIS 参数；支持 CSV 导出数据。

• 探针耗材：金刚石触针；标配 R2μm；可选R0.5μm 针尖（微小图形），属于定期消耗件，需要更换。