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产品型号
UVISEL Plus In-Situ -
厂商性质
代理商 -
更新时间
2025-06-24 -
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55
产品描述
HORIBA堀场在线监控椭偏仪速度快UVISEL Plus在线椭偏仪结合了速度快、灵敏度高、动态范围宽和准确等优点，使其能够在原子层水平监控沉积/刻蚀，即使过程速度比较快也可实现。
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