HORIBA堀场自动化薄膜测量工具Auto SE借助完整的操作向导，自动检测并诊断问题，对故障进行处理，仪器维护简单。

HORIBA堀场自动化薄膜测量工具

Auto SE是一种新型薄膜测量工具。仅需简单的几个按钮，几秒钟内即可自动完成样品测量和分析，并提供完整的薄膜特性分析报告，包括薄膜厚度、光学常数、表面粗糙度和薄膜的不均匀性、反射率或透过率。

HORIBA堀场自动化薄膜测量工具Auto SE全自动化设计、一键式操作，功能齐全。配备自动XYZ样品台进行成像分析，自动切换微光斑，多种附件可选，以满足不同的应用需求。

Auto SE借助完整的操作向导，自动检测并诊断问题，对故障进行处理，仪器维护简单

Auto SE是用于快速薄膜测量和器件质量控制理想的解决方案。

• 全自动流程，薄膜分析更容易

• 高性能系统

• 光斑可视化，微光斑可至25x60 µm

• 功能齐全和灵活

• 智能诊断

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