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产品型号:MX-1205
更新时间:2026-04-15
厂商性质:代理商
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DNK大日本科研国内代理无掩膜曝光装置
DNK大日本科研无掩膜曝光装置MX-1205 是一款专为微机电系统(MEMS)、光电子器件、半导体研发及小批量生产设计的高精度曝光设备,适用于实验室和科研场景中的精细图案化工艺。
该设备采用无掩膜光刻技术,通过数字微镜器件(DMD)或类似空间光调制技术直接将图形投射到基板上,无需传统物理掩膜版,大幅降低研发成本并提升灵活性。其主要特点包括:
高分辨率成像:支持微米级线宽曝光,满足MEMS、传感器、微流控芯片等精密器件的制造需求。
多尺寸兼容性:可处理直径达Ø300mm的晶圆或方形基板,适应多种科研与中试材料规格。
曝光模式灵活:支持接触式、接近式及投影式曝光,可根据工艺需求选择模式,平衡分辨率与对准容差。
软件控制系统:配备专用图形生成与路径规划软件,支持CAD文件直接导入,实现快速图形编辑与曝光序列自动化。
应用场景广泛:适用于液晶聚合物、光刻胶、薄膜太阳能、柔性电子等新型材料的图案化加工。
此外,MX-1205延续了DNK系列设备在稳定性与易操作性方面的优势,整机结构紧凑,适合洁净室环境部署,维护简便,是高校、研究院所及企业研发部门进行先进微纳加工的理想选择。
DNK大日本科研国内代理无掩膜曝光装置


利用独自的高速描画「Point Array方式」技术直接描画图形的装置。
主要特长
能够用于研究开发、试作、小批量生产等的直描曝光。
能够对应半导体、电子零件、屏幕遮罩、金属面具、PCB、高密度封装件、MEMS、FPD等的曝光。
由于在光刻工艺中不需要掩膜,因而可以最大限度地降低开发成本和缩短市场供应时间。
此外,还可以根据客户需求,提供相应的装置构造。