国内代理Otsuka大塚膜厚仪显微分光
● 非接触 · 非破坏 · 显微、对焦、测量1秒完成 ● OPTM系列显微分光膜厚仪是一款可替代椭偏仪，测试膜厚、折射率n、消光系数k、绝对反射率的新型高精度、高性价比的分光膜厚仪。适用于各种可透光膜层的测试，并有可针对透明基板去除背面反射，从而达到“真实反射率、膜厚"测试的目的。此外，软件操作简单、使用方便且简化了复杂的建模流程。

国内代理Otsuka大塚膜厚仪显微分光

● 非接触 · 非破坏 · 显微、对焦、测量1秒完成 ● OPTM系列显微分光膜厚仪是一款可替代椭偏仪，测试膜厚、折射率n、消光系数k、绝对反射率的新型高精度、高性价比的分光膜厚仪。适用于各种可透光膜层的测试，并有可针对透明基板去除背面反射，从而达到“真实反射率、膜厚"测试的目的。此外，软件操作简单、使用方便且简化了复杂的建模流程。

● 非接触、非破坏式，量测头可自由集成在客户系统内

● 初学者也能轻松解析建模的初学者解析模式

● 高精度、高再现性量测紫外到近红外波段内的绝对反射率，可分析多层薄膜厚度、光学常数（n：折射率、k：消光系数）

● 单点对焦加量测在1秒内完成

● 显微分光下广范围的光学系统（紫外 ~ 近红外）

● 独立测试头对应各种inline定制化需求

● 最小对应spot约3μm

● 可针对超薄膜解析nk

量测项目

●  绝对反射率分析

●  多层膜解析（50层）

●  光学常数（n：折射率、k：消光系数）

膜或者玻璃等透明基板样品，受基板内部反射的影响，无法正确测量。OPTM系列使用物镜，可以物理去除内部反射，即使是透明基板也可以实现高精度测量。此外，对具有光学异向性的膜或SiC等样品，也可不受其影响，单独测量上面的膜。

应用范围

● 半导体、复合半导体：硅半导体、碳化硅半导体、砷化镓半导体、光刻胶、介电常数材料

● FPD：LCD、TFT、OLED（有机EL）

● 资料储存：DVD、磁头薄膜、磁性材料

● 光学材料：滤光片、抗反射膜

● 平面显示器：液晶显示器、薄膜晶体管、OLED

● 薄膜：AR膜、HC膜、PET膜等

● 其它：建筑用材料、胶水、DLC等

国内代理Otsuka大塚膜厚仪显微分光

核心功能‌

非接触式膜厚测量：可对透明、半透明及部分不透明薄膜进行精准检测，测量范围覆盖从几纳米到数百微米，能适配光学镀膜、半导体薄膜、光伏薄膜等多种不同材质薄膜的检测需求。

多参数分析：除了膜厚，还可同步分析薄膜的折射率、消光系数等光学参数，为薄膜材料的性能研究和质量控制提供全面数据。

‌技术优势‌

高精度与高分辨率：采用高精度分光光谱技术，膜厚测量精度可达0.1nm，空间分辨率可实现微米级，能精准捕捉薄膜厚度的细微变化和局部差异。

高效检测：搭载快速光谱采集系统，单次测量仅需数秒，支持批量样品自动检测，大幅提升检测效率。

智能化操作：配备直观的图形化操作界面，内置多种样品适配模式，无需复杂的专业知识即可上手操作，同时支持数据的自动存储、分析和导出。

‌应用领域‌

半导体行业：用于芯片制造中光刻胶、金属阻挡层、介质薄膜等的厚度检测，保障芯片制程的精度和良率。

光学领域：检测眼镜片、光学镜头、滤光片等光学元件的镀膜厚度和均匀性，提升光学产品的成像质量和使用寿命。

光伏行业：对太阳能电池片的减反射膜、抗反射膜等薄膜厚度进行精准测量，优化电池片的光电转换效率。

纳米材料研发：辅助纳米薄膜材料的研发，为材料的结构设计和性能优化提供数据支撑。