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产品型号：OPTM-H1
更新时间：2026-05-20
厂商性质：代理商
访问量：11
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产品分类
利用显微微分光膜厚计OPTM series的高精度、微小光点，在线提供制作晶片图案后的微小区域测量等膜厚信息。
特 点
● 膜厚测量范围1nm～92μm（换算为SiO2）
● 膜厚值高重复精度
● 1点1秒以内的高速测量
● 最小小点Φ3μm）中瞄准模式
● 适合图案晶片的膜厚映射
● 能够取得图案对准用图像
装置组装示意图
测量数据示意图
测量光点周边图像
适应过程示例
CMP工艺
蚀刻工艺
成膜工艺等
核心功能
非接触式膜厚测量：可对透明、半透明及部分不透明薄膜进行精准检测，测量范围覆盖从几纳米到数百微米，能适配光学镀膜、半导体薄膜、光伏薄膜等多种不同材质薄膜的检测需求。
多参数分析：除了膜厚，还可同步分析薄膜的折射率、消光系数等光学参数，为薄膜材料的性能研究和质量控制提供全面数据。
技术优势
高精度与高分辨率：采用高精度分光光谱技术，膜厚测量精度可达0.1nm，空间分辨率可实现微米级，能精准捕捉薄膜厚度的细微变化和局部差异。
高效检测：搭载快速光谱采集系统，单次测量仅需数秒，支持批量样品自动检测，大幅提升检测效率。
智能化操作：配备直观的图形化操作界面，内置多种样品适配模式，无需复杂的专业知识即可上手操作，同时支持数据的自动存储、分析和导出。
应用领域
半导体行业：用于芯片制造中光刻胶、金属阻挡层、介质薄膜等的厚度检测，保障芯片制程的精度和良率。
光学领域：检测眼镜片、光学镜头、滤光片等光学元件的镀膜厚度和均匀性，提升光学产品的成像质量和使用寿命。
光伏行业：对太阳能电池片的减反射膜、抗反射膜等薄膜厚度进行精准测量，优化电池片的光电转换效率。
纳米材料研发：辅助纳米薄膜材料的研发，为材料的结构设计和性能优化提供数据支撑。
