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产品型号：MCPD-9800
更新时间：2026-05-21
厂商性质：代理商
访问量：6
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产品分类
本公司的MCPD series在线胶卷评价系统，由于光学式非接触·非破坏的膜厚，浓度，颜色等的检查可能。可测定膜厚范围为65nm～92μm和薄膜到厚膜都对应。（折射率1.5时）测量原理为分光干涉方式，在实现高测量再现性的同时，还支持多层厚度测量。由于采用了独自算法，可以高速实时监控，所以作为在线胶片监控，我们提出了适合的系统。...
特 点
● 适合工艺过程中的薄膜高速测量
● 最短曝光时间1ms～※根据规格
● 支持远程测量
● 膜厚测量范围65nm～92μm（换算为SiO2）
基本配置
多点测量点切换对应系统：
在多点测量点切换对应系统中，通过在TD方向预先设置任意宽度的多分支光纤，可以在不驱动光纤的情况下测量TD方向的膜厚分布。可以作为涂层的条件和实时监视器使用。
检测器和数据处理系统为1式，通过光纤的光路切换可以进行多点测定。
横动单元对应系统
在横动单元对应系统中，通过在TD方向上驱动横动单元，可以以任意宽度和任意间距测量TD方向的膜厚分布。
可以作为涂层条件提出和实时监控使用。 由于通过排线单元的驱动进行多点测量，因此无需准备多台检测器和数据处理。
即使在真空环境下也可以在多点进行反射、透射光谱测定
通过使用各种法兰对应的耐真空纤维，可以在高真空下测量反射、透射光谱。
另外，膜厚运算不易受到基膜的上下移动的影响，并且采用精度良好的薄膜测量大冢电子独自的算法，可以作为实时监视器使用。
