代理KOSAKA小坂研究所台阶仪微细形状测定机，微細形状測定機，接触式金刚石探针，测量薄膜台阶高度（膜厚）、刻蚀深度、表面粗糙度、轮廓、薄膜内应力，半导体 / MEMS/FPD 行业主流设备，对标 Bruker Dektak、KLA 台阶仪

Name: 代理KOSAKA小坂研究所台阶仪微细形状测定机ET4000M
Brand: KOSAKA/小坂研究所
Price: 50000 CNY
Availability: InStock

产品型号：ET4000M

更新时间：2026-08-27

厂商性质：代理商

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产品介绍

代理KOSAKA小坂研究所台阶仪微细形状测定机 代理KOSAKA小坂研究所台阶仪微细形状测定机 微細形状測定機，
接触式金刚石探针，测量薄膜台阶高度（膜厚）、刻蚀深度、表面粗糙度、轮廓、薄膜内应力，半导体 / MEMS/FPD 行业主流设备，对标 Bruker Dektak、KLA 台阶仪，
金刚石探针压在样品表面，样品台水平扫描；薄膜台阶起伏带动探针垂直位移，LVDT 位移传感器采集 Z 向位移，计算台阶高度 = 薄膜厚度，同时输出粗糙度 Ra/Rz、轮廓曲线
微細形状測定機，接触式金刚石探针，测量薄膜台阶高度（膜厚）、刻蚀深度、表面粗糙度、轮廓、薄膜内应力，半导体 / MEMS/FPD 行业主流设备，对标 Bruker Dektak、KLA 台阶仪

ET‑4000 系列（产线全自动机型）

ET‑4000M：Y 轴手动，性价比量产款
ET‑4000A：全自动 XYΘ 载台，自动多点 Mapping
ET‑4000L：大尺寸 FPD 基板
ET‑4300：专门针对12 英寸硅片晶圆量产
半导体：金属膜、氧化硅、氮化硅、光刻胶、RDL 再布线层、刻蚀深度；
MEMS：牺牲层厚度、结构层台阶；
FPD 显示：ITO 膜、钝化层；
科研：镀层、涂层、柔性薄膜；
注意：台阶仪测膜厚需要样品上有台阶（刻出裸露基底），不能直接测整片无台阶样品。
超微测量力 0.5μN：可以直接测量光刻胶、PI 聚酰亚胺等软质薄膜，不会压坏样品表面，这是小坂 ET 系列一大强项ryokosha.c...。
直动式检出器：探针垂直直线运动，消除传统杠杆式摆动带来的角度系统误差，纳米台阶测量更稳定。
CCD 可视定位：肉眼屏幕直接看到探针针尖，对准台阶边缘。
软件 i‑STAR31 功能：台阶高度、膜厚、粗糙度、波纹度、沟槽轮廓、薄膜应力计算；支持宏程序自动批量测量；输出 ISO/JIS 参数；支持 CSV 导出数据。
探针耗材：金刚石触针；标配 R2μm；可选R0.5μm 针尖（微小图形），属于定期消耗件，需要更换。