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产品型号:MA-1300
更新时间:2026-04-15
厂商性质:代理商
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日本进口DNK大日本科研实验研究用曝光装置
日本进口DNK大日本科研研究用曝光装置MA-1400 是一款专为实验与研究场景设计的手动式整面单次曝光设备,适用于玻璃、晶圆、胶片等基材的光刻工艺,特别适合小批量生产与高混合度研发需求。
该设备具备以下核心特性:
多种曝光模式可选:支持接触曝光(软接触、硬接触)和近接曝光,可根据不同材料与工艺要求灵活调整,确保图形转移的高精度与重复性。
大尺寸基板兼容:最大可处理500 mm × 500 mm的基板,满足广泛科研与试产应用,尤其适用于新型显示、微机电系统(MEMS)和先进封装等前沿领域。
高性能光源系统:配备超高压汞灯(可选2kW或3.5kW),结合特殊透镜、聚光镜与反射镜的光学组合,实现高均匀性与稳定能量输出,保障曝光质量。
紧凑且稳定的设计:本体尺寸为宽1440 mm × 深1590 mm × 高1882 mm,整机重量约400 kg(含无尘围栏),结构稳固,节省实验室空间,适合在洁净室或标准实验室环境中长期运行。
高度可扩展配置:支持选购无尘围栏、背面对位、自动对位、真空硬接触(硬接触式密着曝光)以及破碎基板处理等特殊功能,用户可根据具体研究需求进行定制化配置。
日本进口DNK大日本科研实验研究用曝光装置
主要特长
·对应玻璃、Wafer、胶片等基材的实验研究用手动整面单次曝光机。也适合小批量生产。
·可选择接触曝光(软接触、硬接触)和近接曝光。
·对应最大尺寸为500mmx500mm的基板。根据用途和基板尺寸,配置有最佳组合的光学系统。其中包括:超高压水银灯(500W、1kW、2kW、3.5kW)、各种光学镜、特殊镜头、聚光镜等。

