Otsuka大塚膜厚仪光波动场三次元显微镜
日本Otsuka大塚的膜厚仪光波动场三次元显微镜是一款融合膜厚测量与三维形貌观测的精密仪器
大塚电子（OTSUKA ELECTRONICS）是日本精密仪器品牌，在薄膜测量、工业传感器领域拥有深厚的技术积累，产品以高精度、高可靠性著称，广泛服务于全球工业制造、科研实验、质检检测等领域。

  Otsuka大塚膜厚仪光波动场三次元显微镜

日本Otsuka大塚的膜厚仪光波动场三次元显微镜是一款融合膜厚测量与三维形貌观测的精密仪器

大塚电子（OTSUKA ELECTRONICS）是日本精密仪器品牌，在薄膜测量、工业传感器领域拥有深厚的技术积累，产品以高精度、高可靠性著称，广泛服务于全球工业制造、科研实验、质检检测等领域。

MINUK可评价nｍ级的透明的异物・缺陷，一次拍照即可瞬时获得深度方向的信息，可非破坏・非接触・非侵入的进行测量。且无需对焦，可在任意的面进行高速扫描,轻松决定测量位置。

核心功能与特点

‌多维度测量能力‌

兼具高精度膜厚测量与三维形貌观测功能，可实现从纳米级到微米级的薄膜厚度检测，同时能对样品表面的三维轮廓、粗糙度、缺陷等形貌特征进行精准捕捉，部分型号支持多层膜的逐层厚度解析与对应层的形貌匹配分析。

搭载光波动场技术，通过干涉光场的波动特性，能对透明、半透明及不透明薄膜的厚度和表面形貌进行非接触式测量，避免传统接触式测量对样品造成的损伤。

‌超高精度与稳定性‌

膜厚测量精度可达0.1nm级，三维形貌测量的垂直精度可达亚纳米级，搭配品牌自主研发的精密算法，可有效抵消环境振动、温度波动等干扰因素，长时间使用也能保持数据的高一致性，满足科研、精密制造等严苛场景需求。

‌智能操作与数据管理‌

配备高清触控彩屏与直观操作界面，支持一键式测量启动；搭载智能图像识别系统，可自动识别样品特征并优化测量参数。

支持蓝牙、Wi-Fi无线传输，可将测量数据与三维形貌图像实时同步至电脑、平板或云端，搭配专属分析软件，能快速生成包含膜厚分布、三维形貌图、缺陷分析等在内的可视化报告，还可对历史数据进行存储、调取与对比分析。

‌适配性与耐用性‌

可适配金属、非金属、透明薄膜、多层膜等多种类型样品，覆盖电子、半导体、光学、航空航天、材料科学等多个领域。

机身采用高强度防摔材质，具备IP54级防尘防水性能，同时配备专业的减震结构，可适应实验室、车间等不同场景的使用需求。

 Otsuka大塚膜厚仪光波动场三次元显微镜

特点1

凭借宽视野（ 700μm）与高分辨率 （488nm） ，在测量对象中搜寻异物中无需耗费精力。

以往，由于视野范围狭窄，在查找异物等目标位置时，不得不一直扫描被测对象的全域。

MINUK 无需通过成像光学系统，可直接记录样品光，从根本上解决了透镜的像差问题，实现大深度、宽视野、无像差的成像效果。

特点2

可捕捉深度 1400μm 的全域信息，支持任意高度切片观测1次测量即可获取相当于数千张图像的信息量

以往，无论需要观测的位置在哪里，都需要持续拍摄数千张图像才能定位目标区域。而 MINUK 可瞬时完成 700×700μm 平面范围、1400μm 深度方向的信息采集。设备以约 2μm 的轴向分辨率生成约 700 张切片图像，通过对这些数据进行数字重聚焦处理，即可对样品三维结构开展追加验证分析。

特点3

将透过率和折射率的三维分布可视化，将肉眼无法看到的纳米级表面形状数值化

以往传统设备难以完成对焦操作，无法实现数据量化分析。而MINUK可对人眼不可见的纳米级表面形貌进行定量测量，还能检测微小的折射率变化。